SF6定量檢漏儀用於檢測極微小的泄漏率。基於其快速響應時間以及嚴重泄漏或SF6氣體濃度達到100%時不會損壞檢測器的優點，此檢漏儀是用來減少SF6氣體泄漏的理想工具

SF6檢漏儀有化學物質清除選項，這使得該產品在高濃度化學物質和清潔劑的環境中能進行精確穩定的測量，從而保證了每次校驗間隔之間的準確測量。